中国超盛电子科技有限公司生产高多层AI 服务器多层 HDI PCB 是支撑 GPU/TPU 高速互联的核心硬件技术

2026-02-28
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中国超盛电子科技有限公司生产高多层AI 服务器多层 HDI PCB 是支撑 GPU/TPU 高速互联的核心硬件技术,核心是高多层(20–40 层 +)、高阶 HDI 盲埋孔、低损耗材料、精密阻抗与热管理,以满足 56Gbps + 信号、高密度 BGA 与高功耗散热需求
一、核心技术指标(AI 服务器典型要求)
• 层数:20–40 层(主流),高端可达 44–72 层 •
线宽 / 线距:3/3mil(75/75μm),极限 1.5/1.5mil • 盲埋孔:最小孔径 0.05–0.1mm,孔位公差 ±0.01–0.025mm • 阻抗控制:±5%–±8%(50Ω/100Ω 差分)
• 材料:低损耗高速板材(Megtron 7/8/9、M7、罗杰斯、碳氢树脂),Df<0.002 • 表面处理:ENIG、ENEPIG、沉金 + OSP   
二、典型结构:高阶 HDI(3–5 阶)+ 任意层互连(ALIVH) 主流采用1+n+1或多阶积层(Sequential Build-up):
1. 核心层(Core):机械钻孔 + 埋孔 + 内层线路 + 压合
2. 积层(Build-up):薄介质(PP/RCC)→激光盲孔→填铜→外层线路;重复至目标阶数
3. 任意层互连(ALIVH):激光直连任意两层,减少过孔、缩短路径   
三、关键生产工艺详解
1. 基材与内层制作 • 材料选型:低 Dk/Df 高速板材(Megtron 7/8/9、M7、罗杰斯);混压方案(FR-4 + 低损耗层)降本
• 内层线路:LDI 激光直接成像 + 精细蚀刻;线宽公差 ±10%;低粗糙度铜箔(HVLP/RTF)降低导体损耗
• 埋孔加工:机械钻→去胶渣→沉铜→电镀;纵横比≤8:1   
2. 激光钻孔(HDI 核心)
• 设备:CO₂/UV 激光钻孔机 • 参数:最小孔径 50μm;孔位精度 ±5μm;孔壁粗糙度≤15μm • 控深:盲孔精准停在目标层,避免钻穿
• 难点:孔底铜面处理、孔形垂直度、无炭化残留   
3. 盲孔填铜与电镀
• 工艺:脉冲电镀 + 特殊添加剂;高纵横比(≤20:1)填孔
• 要求:填充率 > 95%,无空洞、无凹陷;形成致密铜柱
• 关键:孔壁粗化→化学沉铜→全板电镀→填孔电镀→表面整平   4. 层压与对位(多层板命脉)
• 叠层对称设计:减少翘曲与应力
• 对位精度:±25–50μm(≤3mil);
采用光学对位 + 自动补偿系统 • 真空层压:控温 / 控压 / 控时,消除气泡、控制流胶与涨缩 • 翘曲控制:40 层板翘曲率 < 0.5%   
5. 精细线路与图形转移
• LDI 曝光:分辨率≤25μm;对位精度 ±1.2mil
• 蚀刻:精细酸性蚀刻,侧蚀 < 5μm;线宽均匀性 ±5%
• 阻焊:LDI 阻焊曝光,桥宽≥3mil;防焊对准 ±1.2mil   6. 背钻(Backdrilling)
• 移除通孔多余铜柱(Stub),减少信号反射与损耗 • 控深精度 ±0.05mm;Stub 长度 < 5mil   7. 表面处理与测试
• 表面处理:ENIG(Ni/Au)、ENEPIG、沉金 + OSP,适配高频与可靠性 • 检测:100% AOI、X-Ray(孔内铜厚 / 空洞)、飞针测试、阻抗测试、热应力 / 可靠性测试   四、核心难点与解决方案
1. 高密度盲埋孔可靠性
• 难点:叠孔 / 盘中孔填铜空洞、层间互联失效
• 方案:脉冲电镀 + 添加剂优化;在线监控;高纵横比填铜技术;铜柱结构强化   
2. 层间对位与翘曲
• 难点:多阶压合涨缩、层偏、翘曲
• 方案:对称叠层;光学自动对位 + 补偿;精准层压参数;薄介质 + 低 CTE 材料   3. 高速信号完整性(SI)
• 难点:56Gbps + 信号损耗、反射、串扰
• 方案:低损耗材料;精准阻抗控制(±5%);背钻减 Stub;差分对严格等长;
3W/2H 规则;屏蔽地平面设计   
4. 高功耗散热 • 难点:GPU/ASIC 热密度 > 50W/cm²
• 方案:厚铜(2–6oz);嵌入式铜柱 / 铜块;
大面积散热焊盘;金属基板 / 铝基复合;热仿真优化布局   
五、AI 驱动的技术升级
• AI 仿真优化:阻抗、叠层、布线、热分布一键仿真与迭代
• 智能制程控制:激光参数、电镀、层压参数自适应调整
• 数字化工厂:全流程数据采集 + AI 良率预测与缺陷预警   
六、应用与趋势
• 主流应用:GPU 计算板、高速交换板、背板、HBM 互连板 • 趋势:层数向 40–72 层突破;线宽 / 线距向 2/2mil 演进;任意层互连普及;材料向更低 Dk/Df 升级;工艺向半加成法(mSAP)、类载板(SLP)延伸AI服务器多层PCB5.jpg


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